真空泵油的优良的热氧化稳定性一直在飞速发展。因为转子和泵壳中间高速摩摈，油温高，因而油的发热量和化学作用加重。扩散泵通常是在非常高的工作温度下工作中，这时候提升系统中蒸汽压并减少真空值。因而，规定真空泵油具有较好的热氧化稳定性。较好的耐腐蚀性及抗乳化性。假如机械泵吸入腐蚀性物质，这将浸蚀泵里的金属零件跟油，并引起化学反应。此外，吸入空气中的常常带有水蒸汽，这将导致真空泵油的乳化，所以需要较好的耐腐蚀性及抗乳化性。在真空脱水全过程中常用的真空泵油的乳化功效更为明显。