真空泵油的物理性能对真空得到机器的功效，较理想的真空泵油具备强的粘度系数、低饱和蒸气压、好一点的油水分离器性与氧化安定性，有一个好的抽气速率和极限值真空。此外，不同类型的真空泵以及不同适用范围对油泵的挑选也很重要。因真空泵油油品供货不到位或市场中欠缺适宜的种类等多种因素，真空泵油在使用中有时也会产生油品代用、混用问题，包含国内油和国外油、国内油内不同种类的油、同一类油不一样生产厂家或差异型号、新油和应用里的“旧”油混用这些。