真空泵油的饱和蒸汽压饱和蒸汽压是真空泵油较重要指标的之一。在恒温恒湿的密闭容器里，当汽液二相做到动态平衡时压力称呼饱和蒸汽压。成品油的饱和蒸汽压尽量要低，在泵的比较高工作中温度下，仍旧具备充足低饱和蒸汽压，然后小于机械泵所规定的极限值气体压强。在60℃温度环境下需要做到6.5×10-8 kPa(因升温每提升20℃，饱和蒸汽压大概要下挫一个数量级)。真空泵油的极限值全压力和极限值全工作压力：由皮拉尼计或热偶真空计测到机械泵全部化学物质(汽体)造成气体压强之和。海外现阶段高度重视全气体压强的检测指标。极限值分压力：用液态水银压缩式真空计(麦氏计)测出的泵的极限值气体分压力，双极旋片真空泵分压力应是≤6×10-5 kPa。极限值全工作压力与极限值分压力误差规定不得超过一个数量级。二者之间的误差越多，真空泵油中所含的蒸发成份也就越多，成品油的特性就越不好。